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真空热处理炉（烧入、烧结、烧钝）
| 类型Ⅰ 内碳 | 类型Ⅱ 内金属 | 类型Ⅲ 外热 | |
| 型式 | VHF-Ⅰ© | VHF-Ⅰ(M) | VHF-E |
| 加热温度域 | 超高温、高温（1）、高温（2）700～2300℃ | 超高温、高温（1)1000～2300℃ | 高温（1）、高温（2）700～1600℃ |
| 硬质碳 | 金属加热棒（钨 钼 炭化珪素） | 金属加热棒 | |
| 容器材质 | 不锈钢：SUS304 (水冷） | 不锈钢：SUS304（水冷） | 炉芯管材：铝管（～1600℃） 石英管（～1200℃） |
温度领域と構成
| 分 類 | 加热温度 | 制御センサ | ヒータ材質 （加热方式） |
| 超高温 | 1400～2300℃ | 放射温度計 | 碳加热棒 金属加热棒(W、Mo）*1 |
| 高温1 | 1000～1500℃ | 白金—ロジューム熱電対 （S型、R型、B型） | 碳加热棒 金属加热棒(Mo、SiC）*1 |
| 高温2 | 700～1100℃ | クロメルーアルメル熱電対 （K型） | カンタル線ヒータ |
压力领域（真空度）と真空ポンプ
| 压力（Pa) | 真空 |
| 大气～3.0 | 油旋片泵 |
| 大气～10 | 干式泵 |
| 1000～0.4 | 罗茨泵＋油旋片泵 |
| 3～1×10 -3 | 扩散泵＋油旋片泵 |
| 200～2×10 -5 | 涡轮分子泵+干泵 涡轮分子泵+油旋片泵 |
| 40～10 -7 | 冷冻泵+抽水机 冷冻泵+油旋片泵 |
